Основное заглавие: Физические явления в технологии микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: сборник научных трудов

Ответственность: Московский институт электронной техники ; редакционная коллегия: Шермергор Т. Д. (главный редактор) [и др.]

Год публикации: 1982 (вып. дан. 1983)

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 88 с.

Ключевые слова: Микросхемы; Интегральные микросхемы; Микроэлектроника; Физические основы;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.