Основное заглавие: Физические основы ионно-лучевого легирования
Сведения, относящ. к заглавию: материалы научной конференции. Июнь, 1971 г., Горький
Ответственность: Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ" ; редакционная коллегия: Павлов В. П. (редактор) [и др.]
Год публикации: 1972
Место издания: Горький
Издательство: [б. и.]
Объем: С. 161-256
Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование;
ББК: 22.379.2я431
Библиография: Списки лит. в конце докл.
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1614597 | кх | Доступна | - |
При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера