"Физические основы ионно-лучевого легирования", научная конференция.
Тезисы докладов / Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ". - Горький : [б. и.], 1971. - 62 с. : ил.

Коллективный автор: "Физические основы ионно-лучевого легирования", научная конференция

Основное заглавие: Тезисы докладов

Ответственность: Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ"

Год публикации: 1971

Место издания: Горький

Издательство: [б. и.]

Объем: 62 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование

ББК: 22.379.2я431