Коллективный автор: "Физические основы ионно-лучевого легирования", научная конференция
Основное заглавие: Тезисы докладов
Ответственность: Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ"
Год публикации: 1971
Место издания: Горький
Издательство: [б. и.]
Объем: 62 с.
Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование
ББК: 22.379.2я431
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.