Физические основы ионно-лучевого легирования — Самарская областная универсальная научная библиотека

Физические основы ионно-лучевого легирования : материалы научной конференции. Июнь, 1971 г., Горький. [Ч. 1] / Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ" ; редакционная коллегия: Павлов В. П. (редактор) [и др.]. - Горький : [б. и.], 1972. - 160 с. : ил. - Списки лит. в конце докл.

Основное заглавие: Физические основы ионно-лучевого легирования

Сведения, относящ. к заглавию: материалы научной конференции. Июнь, 1971 г., Горький

Ответственность: Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ" ; редакционная коллегия: Павлов В. П. (редактор) [и др.]

Год публикации: 1972

Место издания: Горький

Издательство: [б. и.]

Объем: 160 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование

ББК: 22.379.2я431

Библиография: Списки лит. в конце докл.