Автор: Штелтинг Ганс-Дитер

Другие авторы: Байссе А.

Основное заглавие: Электрические микромашины

Ответственность: Пер. с нем. Алешечкина В. А.; Под ред. Ледовского А. Н.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Энергоатомиздат

Объем: 227,(1)с.

ISBN: 5-283-02496-2

Ключевые слова: Микроэлектромашины; Электрические микромашины; Микромашины

ББК: 31.261.06

Библиография: Библиогр.: с. 222-225