Физикo-химические метoды oбрабoтки пoверхнoсти пoлупрoвoдникoв [Текст] / под редакцией Луфт Б. Д. - Москва : Радио и связь, 1982. - 137 с. - Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.).



Основное заглавие: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Ответственность: под редакцией Луфт Б. Д.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: Москва

Издательство: Радио и связь

Объем: 137 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Обработка;

ББК: 22.379.2я43

Библиография: Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.)

2018998
 
Физикo-химические метoды oбрабoтки пoверхнoсти пoлупрoвoдникoв [Текст] / под редакцией Луфт Б. Д. - Москва : Радио и связь, 1982. - 137 с. - Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.).
ББК 22.379.2я43
2018998-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2018998 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера