Основное заглавие: Физика микроэлектронных приборов

Сведения, относящ. к заглавию: сборник научных трудов

Ответственность: Московский институт электронной техники ; редакционная коллегия: Шермергор Т. Д. (ответственный редактор) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 93 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Микроэлектронные приборы; Физика;

ББК: 32.344.15

Библиография: Библиогр. в конце ст.