Основное заглавие: Физика микроэлектронных приборов

Сведения, относящ. к заглавию: сборник научных трудов

Ответственность: Московский институт электронной техники ; редакционная коллегия: Шермергор Т. Д. (научный редактор) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1984

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 123 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Микроэлектронные приборы; Физика;

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр. в конце ст.