Основное заглавие: Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике

Сведения, относящ. к заглавию: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.)

Ответственность: Министерство электронной промышленности СССР ; научный редактор Кутолин С. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1969

Место издания: Москва

Издательство: Институт Электроника

Объем: 124 с.

Cерия: Труды конференций по электронной технике

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Алф. указ. имен: с. 115-124