Корзо, Виктор Федорович. 
Диэлектрические пленки в микрoэлектрoнике [Текст] / Корзо Виктор Федорович - Москва : Энергия, 1977. - 367 с. : ил. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344-365 (389 назв.).



Автор: Корзо Виктор Федорович

Другие авторы: Черняев Владимир Николаевич

Основное заглавие: Диэлектрические пленки в микроэлектронике

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 367 с.

Cерия: Электронное материаловедение

Ключевые слова: Тонкие пленки; Микроэлектроника; Диэлектрики;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 344-365 (389 назв.)

1799782
Корзо, Виктор Федорович. 
Диэлектрические пленки в микрoэлектрoнике [Текст] / Корзо Виктор Федорович - Москва : Энергия, 1977. - 367 с. : ил. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344-365 (389 назв.).
ББК 32.844.13
1799782-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1799782 кх Доступна -