Автор: Корзо Виктор Федорович
Другие авторы: Черняев Владимир Николаевич
Основное заглавие: Диэлектрические пленки в микроэлектронике
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1977
Место издания: Москва
Издательство: Энергия
Объем: 367 с.
Серия: Электронное материаловедение
Ключевые слова: Тонкие пленки; Микроэлектроника; Диэлектрики
ББК: 32.844.13
Библиография: Библиогр.: с. 344-365 (389 назв.)
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.