Автор: Корсунский А. А.

Другие авторы: Разумнов И. Г.

Основное заглавие: Индикатор толщины тонких слоев, получаемых методом вакуумного распыления материалов

Ответственность: Ин-т точной механики и вычислит. техники

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1961

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 14 с., 1 л. схем.

Cерия: Электронные вычислительные машины

Ключевые слова: Техника; Тонкие пленки; Вакуумное напыление;

ББК: 30.107.1