Самарская областная
универсальная научная
библиотека
Колешко, Владимир Михайлович.
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике [Текст] / Колешко Владимир Михайлович, Ковалевский Александр Адамович ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1978. - 343 с. : ил. - Список лит.: с. 320-340 (783 назв.).

Автор: Колешко Владимир Михайлович

Другие авторы: Ковалевский Александр Адамович

Основное заглавие: Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике

Ответственность: АН БССР, Ин-т электроники

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1978

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 343 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые пленки

ББК: 32.844.13

Библиография: Список лит.: с. 320-340 (783 назв.)