Автор: Колешко Владимир Михайлович

Другие авторы: Гойденко Петр Петрович; Буйко Лев Дмитриевич

Основное заглавие: Контроль в технологии микроэлектроники

Ответственность: АН БССР, Ин-т электроники

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1979

Место издания: Минск

Издательство: Наука и техника

Объем: 312 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Технический контроль;

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр.: с. 293-310 (736 назв.)