Автор: Быковский Юрий Алексеевич

Другие авторы: Неволин В. Н.; Фоминский В. Ю.

Основное заглавие: Ионная и лазерная имплантация металлических материалов

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Энергоатомиздат

Объем: 235,[2]с.

ISBN: 5-283-03921-8

Ключевые слова: Имплантация; Ионная имплантация; Ионное легирование; Легирование; Металлические материалы; Металлы

ББК: 34.208

Библиография: Библиогр.: с. 232-236