Автор: Белов Игорь Александрович

Другие авторы: Шеленкевич В. А.; Шуб Л. И.

Основное заглавие: Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: Л.

Издательство: Политехника

Объем: 287,(1)с.

ISBN: 5-7325-0001-4

Ключевые слова: Гидродинамические исследования; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06+32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 283-286