Белов, Игорь Александрович. 
Мoделирoвание гидрoмеханических прoцессoв в технoлoгии изгoтoвления пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и микрoсхем [Текст] / Белов Игорь Александрович, Шеленкевич В. А.; Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287,(1)с. : ил. - Библиогр.: с. 283-286. - ISBN 5-7325-0001-4



Автор: Белов Игорь Александрович

Другие авторы: Шеленкевич В. А.; Шуб Л. И.

Основное заглавие: Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: Л.

Издательство: Политехника

Объем: 287,(1)с.

ISBN: 5-7325-0001-4

Ключевые слова: Гидродинамические исследования; Микросхемы; Микроэлектронные схемы; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06+32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 283-286

2344838
Белов, Игорь Александрович. 
Мoделирoвание гидрoмеханических прoцессoв в технoлoгии изгoтoвления пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и микрoсхем [Текст] / Белов Игорь Александрович, Шеленкевич В. А.; Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287,(1)с. : ил. - Библиогр.: с. 283-286. - ISBN 5-7325-0001-4
ББК 32.852-06+32.844.15-06
2344838-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2344838 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера