Фoтoшаблoны для интегральных схем : (отечественная, иностранная литература и патенты за 1965-1971 гг.) / Министерство электронной промышленности СССР ; составители: Солуянова Г. Б., Нодельман Т. И. - Москва : Электроника, 1973. - 43 с. - (Тематические указатели литературы. Микроэлектроника ; вып. 1 (24)).
Пoдробнее