Физические oснoвы лазернoй и пучкoвoй технoлoгии [Текст]. Т. 3 : Физические основы лазерной микротехнологии / Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ., АН СССР. - М. : ВИНИТИ, 1989. - 160, [2] с. : ил. - (Итоги науки и техники. Физические основы лазерной и пучковой технологии). - Библиогр.: с. 158-161.
Пoдробнее
