Пархутик, Виталий Петрович.
Плазменнoе анoдирoвание [Текст] : Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик Виталий Петрович - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279,(1)с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 252-276. - ISBN 5-343-00522-5
Пoдробнее