Основное заглавие: Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов

Сведения, относящ. к заглавию: вопросы электроники : межвузовский сборник

Ответственность: Кишинев. политехн. ин-т им. С. Лазо ; [редкол.: И. Ф. Клисторин и др.]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1982

Место издания: Кишинев

Издательство: Штиинца

Объем: 142 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Электронные приборы; Производство; Автоматизация;

ББК: 32.86-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.