Автор: Парфенов Олег Дмитриевич

Основное заглавие: Технология микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для вузов по специальностям "Электронные вычислительные машины" и "Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры"]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 256 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Производство;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Список лит.: с. 255 (13 назв.)