Автор: Геллер Исаак Хаимович

Основное заглавие: Технология производства полупроводниковых элементов

Сведения, относящ. к заглавию: (конспект лекций)

Ответственность: ред. Подмарьков А. Н. ; Моск. энерг. ин-т, Каф. электротехн. материалов и кабелей

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1975

Место издания: Москва

Издательство: МЭИ

Объем: 122 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые элементы; Производство; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 120