Автор: Березин Геннадий Николаевич

Другие авторы: Никитин А. В.; Сурис Р. А.

Основное заглавие: Оптические основы контактной фотолитографии

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 103 с.

Cерия: Массовая библиотека инженера "Электроника"

Ключевые слова: Фотолитография;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 98-101