Основное заглавие: Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Сб. науч. тр.

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники; Редкол.: Блинов И. Г. (гл. ред.) и др.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1985

Место издания: М.

Издательство: МИЭТа

Объем: 119с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Моделирование; Проектирование; Технологическое оборудование;

ББК: 32.844.1-02

Библиография: Библиогр. в конце ст.